KX-H-VPF312818-2200

高温纯化炉

产品功能
把石墨件、软硬毡及碳‑碳复合材料，去除金属、硼、硅、钙、铁、铝(B, Si, Ca, Fe, Al) 等杂质，生产超高纯石墨，主要用于半导体、光伏热场部件。

生产超高纯石墨

主要用于半导体、光伏热场部件

产品特点

炉腔

有效空间2×2×9.6 m

保温

保温层热传导率0.25W/(m·k)@1,080°C; 保温层厚度210mm。

耐温

最高工作温度达2,200°C。

产品尺寸

产品宽度/直径达到2m。

产能

最大装载达5t。

除杂效果

杂质含量200PPM的石墨件，经高温纯化后杂质含量低于20PPM。

上料方式	卧式, 间歇式, 单侧进/ 出料
设计温度	2,400 ℃
最高工作温度	2,200 ℃
升温速率	1-5℃/min
温度控制精度	0.1 ℃/min
温度均匀性	±15 ℃
额定功率	1,300 kW
进气速度	2100 L/min
进气方式	一侧进气，另一侧排气，12根进气管均匀分布，每根进气管分5个进气口进入炉内
极限真空	< 50Pa
压升率	≤5Pa/h
故障率	≤1%（故障率=设备故障停机时间/负荷时间×100%）
设备占地	L25 × W10 × H7m
所需净空间	L27 × W12 × H8m
炉室内尺寸	10.7 × 3.1 × 2.8m
工作区有效空间	9.6 × 2 × 2m
设备总重	约 80 t
最大装载净重量(进炉前)	5t
设备主体外观	灰白色，国标色卡RAL9002