03-05
碳化硅电阻式长晶炉
设计优点
1、结构紧凑,可采用并排布局,提高厂房利用率;
2、满足6-8寸半绝缘/导电晶体生长需求;
3、PVT-RS-40型碳化硅电阻式长晶炉适用于生长高质量6-8吋碳化硅单晶、高纯度碳化硅原料合成、晶体退火等领域。
1、结构紧凑,可采用并排布局,提高厂房利用率;
2、满足6-8寸半绝缘/导电晶体生长需求;
3、PVT-RS-40型碳化硅电阻式长晶炉适用于生长高质量6-8吋碳化硅单晶、高纯度碳化硅原料合成、晶体退火等领域。
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