产品功能
1.去除PSG
2.去除多晶硅沉积的正面(LPCVD)PECVD绕镀层,去除表面剩余的BSG"/>

01-03-05

RCA槽式清洗设备


产品功能
1.去除PSG
2.去除多晶硅沉积的正面(LPCVD)PECVD绕镀层,去除表面剩余的BSG

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