03-01
连续加料直拉单晶炉 CCz
主要技术指标
1、整机尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;
2、主腔室内径1400mm,副炉室内径350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz热场,可拉制10英寸以下直径的晶体;
3、加热方式:电阻加热,DC电源Pmax=150:50Kw,频率50Hz;
1、整机尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;
2、主腔室内径1400mm,副炉室内径350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz热场,可拉制10英寸以下直径的晶体;
3、加热方式:电阻加热,DC电源Pmax=150:50Kw,频率50Hz;
主要技术指标
1、整机尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;
2、主腔室内径1400mm,副炉室内径350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz热场,可拉制10英寸以下直径的晶体;
3、加热方式:电阻加热,DC电源Pmax=150:50Kw,频率50Hz;
4、装料方式:主炉室侧向连续外部加料装置(容量1200kg)+动态在线硅料补充装置+石英坩埚内预装;加料速度可在20g-600g/min范围内线性调控,控制精度≤500g/Hours。
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